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日本黑田精工KURODA硅片平整度測(cè)量系統(tǒng) 同步檢驗(yàn)表面形狀、背面形狀和平整度! NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉(zhuǎn)、邊緣夾持式晶圓的平整度測(cè)量裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測(cè)量。評(píng)價(jià)項(xiàng)目依據(jù)SEMI標(biāo)準(zhǔn)。